• <blockquote id="vuhvq"></blockquote>
      <u id="vuhvq"></u>
    1. <dfn id="vuhvq"><wbr id="vuhvq"><bdo id="vuhvq"></bdo></wbr></dfn><b id="vuhvq"><track id="vuhvq"></track></b>
      1. 歡迎淄博新穎傳感器有限公司官網!
        聯系電話:0533-4135178/0533-4260443
        企業新聞NEWS
        公司新聞
        業內資訊

        聯系方式CONTACT

        淄博新穎傳感器有限公司

        公司電話:0533-4135178

                         0533-4260443

        公司傳真:0533-4260443

        手機:13806484537

        郵箱:zbsensor@126.com

        地址:山東省淄博市博山區夏家莊鎮中心路良莊段路南

         

        業內資訊當前位置:首頁>業內資訊

        復合熱釋電薄膜紅外探測器制備

        [2021/8/12]

          在制備熱釋電薄膜紅外探測器的過程中存在的問題是:

          1、如何使薄膜制備工藝和半導體工藝兼容,以期制備高性能的單片式非致冷紅外焦平面器件。

          2、如何設計探測器結構,使探測器有較大的響應特性。

          采用復合熱釋電薄膜可以同時很好地解決這兩個問題,復合熱釋電薄膜的結構如下圖所示:

        復合熱釋電薄膜的結構示意圖

          在這種結構中,絕熱膜采用多孔SiO2薄膜,它具有孔率高、熱導率小等特點,可以很好地解決熱散失問題,從而可以大幅度地提高探測器的響應特性。也就是說,復合薄膜結構從解決熱散失方面,較好地解決了前面提到的第2個問題,利用致密的SiO2薄膜作為緩沖層,稱為過渡膜,它的主要作用是為制備熱釋電薄膜提供平整的基底。

          在此結構中:多孔SiO2絕熱薄膜、致密SiO2過渡薄膜均采用傳統的溶膠-凝膠工藝制備;熱釋電薄膜采用MOD方法制備;上、下電極以及吸收層的制備均采用直流濺射獲得。這些制備工藝完全與傳統的半導體工藝兼容,解決了薄膜制備工藝和半導體工藝的兼容性問題。進一步,采用合理的工藝和工序,就可以制備單片式復合熱釋電薄膜焦平面紅外探測器。

        相關新聞
        淄博新穎傳感器有限公司
        Add:
        地址:山東省淄博市博山區夏家莊鎮中心路良莊段路南
        Tel:
        0533-4135178、4260443
        Email:
        zbsensor@126.com
        版權所有:淄博新穎傳感器有限公司
        Copyright by 2019
        魯ICP備19035841號-1 友鏈:阿里巴巴代運營 阿里巴巴托管 淄博阿里巴巴 濱州阿里巴巴
        技術支持:山東網管家
        精品国产乱码一区二区三区99_国产精品白嫩精品_日韩欧美一区二区三区在线观看动漫_国产成人精品a视频_亚洲福利在线看国产精品_好吊妞国产欧美日韩免费观看 在线播放